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MEMS传感器的类型和运用
发布时间:2022-05-17 04:56:10 来源:环球体育betMEMS传感器即微机电体系是在微电子技能根底上开展起来的多学科穿插的前沿研讨范畴。经过四十多年的开展,已成为世界注目的严重科技范畴之一。
它触及电子、机械、资料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技能,具有宽广的运用远景。截止到2010年,全世界有大约600余家单位从事MEMS的研发和出产作业,已研发出包含微型压力传感器、加快度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品,其间MEMS传感器占适当大的份额。MEMS传感器是选用微电子和微机械加工技能制作出来的新式传感器。
与传统的传感器比较,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化出产、易于集成和完结智能化的特色。一起,在微米量级的特征尺度使得它可以完结某些传统机械传感器所不能完结的功用。
MEMS传感器作为获取信息的要害器材,对各种传感设备的微型化起着巨大的推进效果,已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生特医学及消费电子产品等范畴中得到了广泛的运用。lw
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